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车间内的洁净室工程有很多装修方案，如：单向气流仅适用于小空间或敏感区域，适合对洁净度要求不太高的洁净室。在单向气流的洁净室内能够采用设备架空地板，以便于微粒从作业区域流动到带小孔的地板下，而在笔直或水平气流的洁净室内能够在墙下部设置回风体系，另一种做法是选用空气喷射设备隔绝超清洁区域。
在洁净室装修时，运用高效过滤网进行空气过滤，对洁净室而言，空气过滤体系是非常重要的环节，应正确运用空气过滤体系为洁净室提供良好的生产环境，这一点在吊顶高度有限的车间内尤为明显。但也要注意，运用低等级过滤器，长时间选用高压降方法作业，所带来的效果并不明显。
无尘车间建设完工后，如果洁净室内存在小颗粒粉尘，当风速较低时气流就会较长时间停留在过滤器中，粉尘碰击障碍物的几率更大、更多，过滤功率也会更高。经过相关试验得知，如果运用高效过滤器，当风速减半时粉尘的透过率会下降近一个数量级。运用了带静电的过滤器，粉尘停留在过滤器中的时间越长，那么被吸附的几率就越高。而当风速改动时 ，风速变小，其过滤功率也会发生明显的改动。所以，关于带静电的过滤器，设计人员在规划洁净厂房设计时就要做好考量，尽量削减经过每个过滤器的风量。
